| 申请日 |
2017.04.05 |
| 专利权人 |
艾克斯特朗欧洲公司 |
| 地址 |
德国黑措根拉特 |
| 发明人 |
C.加勒夫斯基; S.E.萨瓦斯; M.穆基诺维克 |
| Int. Cl. |
C23C16/44(2006.01)I; C23C16/455(2006.01)I; H01J37/32(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
北京市柳沈律师事务所11105 |
| 代理人 |
曲莹 |
| 优先权 |
15/091,412 2016.04.05 US |
| PCT进入国家阶段日 |
2018.11.02 |
| PCT申请数据 |
PCT/EP2017/058044 2017.04.05 |
| PCT公布数据 |
WO2017/174618 EN 2017.10.12 |
| 对比文件 |
CN 1628368 A,2005.06.15; CN 102016118 A,2011.04.13; CN 102514214 A,2012.06.27; JP 特开2003-68711 A,2003.03.07 |
