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1976年,《半导体光电》创刊。
1978年,发行了两期;1979年发行了三期。
1983年,改为季刊。
1997年,由季刊改为双月刊。
2014年11月,该刊成为原国家创新闻出版广电总局第一批认定学术期刊。