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1958年，南开大学物理系电真空专业和半导体专业成立。
1984年，成立电子科学系、现代光学研究所。
1992年，成立光电子薄膜器件与技术研究所。
1995年，在原电子科学系与现代光学研究所、光电子薄膜器件与技术研究所和计算机与系统科学系的基础上，组建了信息技术科学学院。
2010年，南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系成立。
2013年，新组建电子信息与光学工程学院。
1958年，南开大学物理系电真空专业和半导体专业成立。 
