原子发射光谱分析法的特点：
⑴可多元素同时检测各元素同时发射各自的特征光谱；
⑵分析速度快试样不需处理，同时对几十种元素进行定量分析（光电直读仪）；
⑶选择性高 各元素具有不同的特征光谱；
⑷检出限较低 10～0.1mg×g-1（一般光源）；ng×g-1(ICP）
⑸准确度较高 5%～10% （一般光源）； <1% (ICP) ；
⑹ICP-AES性能优越线性范围4～6数量级，可测高、中、低不同含量试样；
缺点：非金属元素不能检测或灵敏度低。
在正常状态下，元素处于基态，元素在受到热（火焰）或电（电火花）激发时，由基态跃迁到激发态，返回到基态时，发射出线状光谱。不同元素由于原子结构不同，产生的光谱线具有特征性，所以称为特征谱线。在原子发射光谱分析中又提出来元素的共振线、灵敏线、最后线和分析线。
原子的核外电子在不断运动而处于一定的能级，具有一定的能量。正常情况下原子处于稳定的能量最低状态称为基态。原子的外层电子获得能量后，从基态跃迁到高能级上，处于这种状态的原子称为激发态。激发态也有很多个，能级由低到高，依次称为第一激发态、第二激发态，等等。 处于激发态的原子很不稳定，在极短的时间内便跃迁到基态或低能态而产生发射光谱线。通常把从激发态跃迁到基态的谱线称为共振线；把由第一激发态跃迁到基态产生的谱线称为：第一共振发射线线，简称第一共振线。
第一共振线的产生，是由于跃迁到低能级时释放出多余的能量，是以一定波长形式的电磁波辐射的。因为第一共振线最易发生，能量最小，所以称为灵敏线。例如，Mg285.21nm ，就是第一共振线，也是灵敏线 。
