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双焦透镜非球面双焦距徽透镜制造方法研究

2022/07/16112 作者:佚名
导读:光刻胶热熔法是一种制作周期短、效率高、成本低的常用方法。一般光刻胶热熔法主要用来制作球形微透镜,即通过设计制作圆形图案的掩膜,曝光显影后得到圆柱状的结构,再进行热熔,利用光刻胶融化后自身表面张力形成球冠状微透镜。 而由于平凸型双焦距微透镜厚度一定,透镜弧矢和子午两个方向的面型轮廓不一样,所以两个方向的底径也不一样,这样双焦距微透镜的底面轮廓应该是椭圆形。因此为了利用光刻胶热熔法制作双焦距微透镜,可

光刻胶热熔法是一种制作周期短、效率高、成本低的常用方法。一般光刻胶热熔法主要用来制作球形微透镜,即通过设计制作圆形图案的掩膜,曝光显影后得到圆柱状的结构,再进行热熔,利用光刻胶融化后自身表面张力形成球冠状微透镜。

热巧双焦巧微进镜制作流程 而由于平凸型双焦距微透镜厚度一定,透镜弧矢和子午两个方向的面型轮廓不一样,所以两个方向的底径也不一样,这样双焦距微透镜的底面轮廓应该是椭圆形。因此为了利用光刻胶热熔法制作双焦距微透镜,可以设计如图(a)所示的椭圆形图案掩膜,曝光显影后就得到了如图(b)所示的椭圆柱状结构,经过热熔即得到图 (c)所示椭圆形微透镜,显然该透镜长轴和短轴面型轮廓是不一样的,这样就利用热熔法得到了双焦距微透镜。

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