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建设工程知识

反应离子蚀刻机技术指标

2022/07/16165 作者：佚名
导读：1.极限真空： 4.0×10-4 Pa2.刻蚀材料: Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、Au、Al、GaN、GaAs等3.真空室规格: φ300"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1]

1.极限真空： 4.0×10-4 Pa2.刻蚀材料: Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、Au、Al、GaN、GaAs等3.真空室规格: φ300"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1]

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