多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。

多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCl反应，加工成SiHCl₃，再让SiHCl₃在H₂气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H₂、SiHCl₃、SiCl₄、SiH₂Cl₂和HCl经过分离后再循环利用。

改良西门子法多晶硅生产过程中，由还原炉产生的反应尾气，在尾气回收工序经过多级冷凝分离，液相氯硅烷随同HCL吸收塔塔釜氯硅烷富液进入解析塔。解析塔塔顶解析出其中的HCL，送至三氯氢硅合成工序回收利用。塔釜采出的氯硅烷贫液一部分回到吸收塔作为吸收剂，一部分采出送至精馏工序。送至精馏工序的氯硅烷贫液中还原反应副产物二氯二氢硅约占5％-7％。这部分二氯二氢硅伴随氯硅烷进入精馏塔，与三氯氢硅一起从精馏塔塔顶采出，再回到还原炉进行还原反应。

《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》发明人发现2014年12月之前技术中至少存在如下问题：送至还原炉进行还原反应的三氯氢硅中含有5％-7％的二氯二氢硅，最终会降低参与还原反应三氯氢硅的纯度，影响了三氯氢硅的一次转化率，增加了多晶硅的生产成本。