第1章概述1

11硅的简介1

12硅材料工业概况4

13多晶硅的生产方法7

小结12

习题12

第2章纯水的制备13

21水的概述13

22离子交换法简介14

23去离子水(高纯水)的制备工艺15

24离子交换法制备纯水17

25纯水制备系统主要设备及工作原理19

26纯水制备系统运行控制26

27纯水制备系统的清洗27

28高纯水的测量30

小结32

注释32

习题32

第3章工业硅的生产33

31工业硅生产原理及影响因素33

32工业硅生产工艺38

33工业硅生产操作41

34工业硅生产设备43

35生产操作及安全控制50

36烟气净化利用56

小结63

习题64

第4章氢气的制备和净化65

41氢气的简介65

42氢气的生产工艺68

43氢气的净化、储存和运输71

44氢气的安全使用73

小结75

习题75

第5章液氯的汽化76

51氯气的性质76

52液氯的汽化77

53氯的存放和安全使用79

小结83

习题84

第6章氯化氢的合成85

61氯化氢的性质85

62氯化氢的合成原理85

63氯化氢合成工艺过程86

64主要设备及其作用86

65工艺条件选择和操作要点87

66质量控制要点88

67安全控制89

小结89

习题89

第7章三氯氢硅的合成90

71三氯氢硅制备原理90

72三氯氢硅合成工艺流程90

73三氯氢硅合成的主要设备91

74三氯氢硅合成的工艺条件94

75生产现场操作要点97

小结98

习题99

第8章三氯氢硅的提纯100

81三氯氢硅中杂质含量的分析100

82提纯三氯氢硅的方法简介102

83精馏的基本概念102

84双组分溶液的气液相平衡107

85精馏原理112

86精馏塔的物料衡算——操作线方程116

87双组分连续精馏过程的计算126

88精馏提纯设备139

89精馏工艺145

小结151

习题151

第9章三氯氢硅氢还原制备高纯硅152

91三氯氢硅氢还原的原理及影响因素152

92三氯氢硅氢还原的工艺155

93三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理157

94三氯氢硅氢还原工艺质量要求159

95三氯氢硅氢还原工艺中的计算159

96还原生产中的热能综合利用160

小结161

习题161

第10章还原尾气干法回收工艺162

101重要作用和意义162

102干法回收的工艺过程163

103四氯化硅的氢化165

小结169

习题169

第11章硅芯的制备与腐蚀170

111硅芯的制备170

112硅芯腐蚀175

小结176

习题177

第12章硅烷法制备高纯硅178

121硅烷的概述178

122原料的制取及处理180

123硅烷的发生184

124硅烷的提纯189

125硅烷热分解制备多晶硅191

小结193

习题194

参考文献195