简称EDXRF。电磁辐射激发一般用X射线管或Fe、Pu、Cd、、Co等放射性同位素作激发源。这时它的探测极限虽不及PIXE，但制样简便，常常可以直接分析原始样品，而且既能分析低含量样品，又能分析高含量样品，因此应用更为广泛。X射线在物质中的穿透能力较大,故能测量较厚样品中的元素平均含量。当使用放射性同位素作激发源时能够制成便携式的仪器，不仅可用于实验室，还可以用于工厂、野外地质和矿山。当使用电子同步加速器或电子储存环发出的高强度偏振辐射作激发源时，探测极限比PIXE好几个数量级。若再使用晶体单色器，还可以制成同步辐射X射线微探针，进行微区分析。
