造价通
反馈
取消

热门搜词

造价通
取消 发送 反馈意见

建设工程知识

干化刻蚀机技术指标

2022/07/16150 作者：佚名
导读：300W,13.56MHz射频源；3kW,13.56MHz ICP源。系统可以刻蚀SiO2、SiNX、Al2O3、Nb、GaAs、InP、GaAlAs及InAs等薄膜材料。直径下电极，腔室大小满足4英寸及以下尺寸样品。工艺腔室真空度优于3x10-6 Torr。工艺腔室设有观察窗，具有腔壁自动加热功能，腔壁温度可维持在80℃左右；下电极配置冷水机，控温精度达到±0.5℃。系统配置有12路工艺气体的外

300W,13.56MHz射频源；3kW,13.56MHz ICP源。系统可以刻蚀SiO2、SiNX、Al2O3、Nb、GaAs、InP、GaAlAs及InAs等薄膜材料。直径下电极，腔室大小满足4英寸及以下尺寸样品。工艺腔室真空度优于3x10-6 Torr。工艺腔室设有观察窗，具有腔壁自动加热功能，腔壁温度可维持在80℃左右；下电极配置冷水机，控温精度达到±0.5℃。系统配置有12路工艺气体的外置气体盒，满足目前工艺应用需求。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
关注微信公众号造价通（zjtcn_Largedata），获取建设行业第一手资讯

热门推荐

相关阅读