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建设工程知识

平板式电极结构

2022/07/1669 作者：佚名
导读：平板式电极结构，用于PECVD系统，本实用新型提高非晶硅基薄膜材料生长速率及均匀性，减少由等离子体产生的硅聚合物对系统的污染，并可获得较好的物理及电学参数。
平板式电极结构，用于PECVD系统，本实用新型提高非晶硅基薄膜材料生长速率及均匀性，减少由等离子体产生的硅聚合物对系统的污染，并可获得较好的物理及电学参数。
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