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中国在近十年期间，通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究，在MEMS领域取得了突出进展。提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。
MEMS技术已开始在我国的社会生产中发挥作用，如微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分裂、显微手术和生物芯片的制造工艺；微传感器已民开始用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量；纳米薄膜润滑技术已应用于火箭和计算机硬盘的制造工艺。
