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微波等离子体CVD系统技术指标

2022/07/16438 作者：佚名
导读：1、微波工作频率：2450±50MHZ，微波输出功率：0.5-5KW连续可调；功率稳定度：优于±1%；2、输出波导接口：BJ-26带FD-26标准法兰；3、微波反应腔尺寸和工作模式：ф124×200(H)，下注TM013模式；4、微波放电腔：多端口,带双层水冷；5、真空系统：600L/min分子泵和旁路机组中气压真空测控；6、样品支架系统：基板直径ф100mm；7、轴向调节距离：0-150mm。

1、微波工作频率：2450±50MHZ，微波输出功率：0.5-5KW连续可调；功率稳定度：优于±1%；2、输出波导接口：BJ-26带FD-26标准法兰；3、微波反应腔尺寸和工作模式：ф124×200(H)，下注TM013模式；4、微波放电腔：多端口,带双层水冷；5、真空系统：600L/min分子泵和旁路机组中气压真空测控；6、样品支架系统：基板直径ф100mm；7、轴向调节距离：0-150mm。

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