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微波等离子体CVD系统主要功能

2022/07/16135 作者：佚名
导读：1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究；2、基片的刻蚀和灰化；3、作为高密度、宽束离子源；4、低温氧化物的生长；5、等离子体表面处理和其它实验加工。

1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究；2、基片的刻蚀和灰化；3、作为高密度、宽束离子源；4、低温氧化物的生长；5、等离子体表面处理和其它实验加工。

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