随着纳米技术、微系统及机械加工技术、微电子技术的发展，使制造微小电极成为可能。已有研制的微电极已由微米级向纳米级发展，微系统中所用的微电极已可达到纳米级。在近年来发展起来的基因工程和纳米技术中，微电极所起的作用至关重要，可以对DNA等有机大分子进行测定、还可以对痕量金属离子进行测定，测定数量可达20余种。
根据微电极的制作材料可将微电极分为碳纤维微电极、铂微电极、铜微电极、钨微电极、金微电极、铱微电极、银微电极、粉末微电极。
根据微电极的形状还可将微电极分为微柱电极、微盘电极、微带电极、微刷电极、微束盘电极、微圆盘电极和微流动电极、组和式电极、纳米级圆盘-圆柱电极。
根据电极的尺寸又可将电极分为常规电极、微电极、和超微电极。超微电极是指电极尺寸为10-4cm或10-7cm的一类电极。超微电极具有常规电极无法比拟的优良电化学特性，已成为电化学研究中最有发展前景的一个重要分支。
