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利用Laser光源,检测样品定性分析用显微镜把雷射光点聚到很小大约是 1-2 μm 的 spot size,然后打到样品中,之后散射出来的雷射光的能量会是原来入射雷射光能量加减该样品声子的能量,然后将散射出来的雷射光导入分光仪中,绕射后接着进入 CCD 得到频谱分布。