机械应力缺陷简介
2022/07/16216
作者：佚名
导读：中文名称 机械应力缺陷 英文名称 mechanical stress defect 定 义 晶片加工时，在其表面引入的机械应力缺陷。经腐蚀后可显现出该种缺陷的痕迹。 应用学科 材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），元素半导体材料（三级学科）
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中文名称
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机械应力缺陷
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英文名称
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mechanical stress defect
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定 义
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晶片加工时，在其表面引入的机械应力缺陷。经腐蚀后可显现出该种缺陷的痕迹。
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应用学科
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材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），元素半导体材料（三级学科）
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