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1.对纳米晶片表面粗糙度的检测设备(SSIS)的校准关键技术进行探索,基本上掌握了纳米单分散PSL标准粒子的产生、电迁移分级、静电沉积和气溶胶纳米粒子测量技术,对我国有自主知识产权的纳米芯片生产提供服。