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掺Pt的ZnO对异丁烷、丙烷、乙烷等碳化氢气体有高灵敏度,碳化氢中碳元素的数目越大,灵敏度越高。对于这些气体,从浓度为4000ppm开始.其深度与灵敏度接近于线性关系,这对提高元件对气体浓度的分辨力是利的,而它对氢、一氧化碳、甲烷、烟雾等灵敏度则比较低。掺Pd的ZnO恰好相反,对氢和一氧化碳的灵敏度高而对碳化氢气体的灵敏度却较差,其灵敏度与依度关系接近于线性的区城也是自4000ppm开始。