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1、用于微观三维形貌观察与测量、微观几何尺寸的测量；要求设备具有不低于20nm的测量精度，快速高效的测量实现方法；2、具有金相分析功能及高精度3D形貌测量；2D真彩色照片拍摄和测量；表面轮廓曲线和三维轮廓曲面测量；面粗糙度测量；线粗糙度测量；颗粒分析测量；几何测量和运算（高度、宽度、角度、半径、面积、体积）；三维形貌图像显示。
