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激光扫描显微镜技术指标

2022/07/1699 作者：佚名
导读：1、测试功能：PROFIEL 形貌测量（精度）、线粗糙度和面粗糙度测量、磨耗对比测量等。Z向测量显示分辨率0.5nm；重复精度：0.012um；X向测量显示分辨率1nm，重复精度：0.02um；测量高度范围：0—7mm 2、扫描速度：面扫描：4-120Hz，线扫描：7900Hz 3、图像分辨率：130nm。

1、测试功能：PROFIEL 形貌测量（精度）、线粗糙度和面粗糙度测量、磨耗对比测量等。Z向测量显示分辨率0.5nm；重复精度：0.012um；X向测量显示分辨率1nm，重复精度：0.02um；测量高度范围：0—7mm 2、扫描速度：面扫描：4-120Hz，线扫描：7900Hz 3、图像分辨率：130nm。

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