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激光超精密加工系统技术指标

2022/07/16135 作者：佚名
导读：激光器：1、中心波长：515nm；2、脉冲宽度：15ps；3、重复频率：400kHz～1MHz；4、平均功率：30W @ 400kHz；5、功率稳定性：≤±2% (最高重复频率）。X-Y平台：1、重复精度：±2μm；2、定位精度：： 3μm ；3、移动速度：≤200mm/s；。

激光器：1、中心波长：515nm；2、脉冲宽度：15ps；3、重复频率：400kHz～1MHz；4、平均功率：30W @ 400kHz；5、功率稳定性：≤±2% (最高重复频率）。X-Y平台：1、重复精度：±2μm；2、定位精度：： 3μm ；3、移动速度：≤200mm/s；。

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