在生产中往往遇到一些较深、较小的孔，而且精度和表面粗糙度要求较高，工件材料（如磁钢、硬质合金、耐热合金等）的机械加工性能很差。采用磨研方法加工这些小孔时，生产率太低，采用内圆磨床磨削也很困难，因为内圆磨床磨削小孔时砂轮轮轴很细，刚度很差，砂轮转速也很难达到要求。例如，磨直径1.5mm的内孔，砂轮外径为1mm，取线速度为15m/s，则砂轮转速为30000 r/min，制造这样高速的磨头比较困难。采用电火花磨削或镗磨能较好的解决这些问题。

电火花磨削可在穿孔，成形机床上附加一套磨头来实现，使工具电极作旋转运动，如工件也附加一旋转运动，则磨得的孔可更圆。也有设计成专用电火花磨床或电火花坐标磨孔机床的，也可用磨床、铣床、钻床改装，工具电极作往复运动，同时还回转。在坐标磨孔机床中，工具还做公转，工件的距离和孔径靠坐标数控系统来保证。这种操作方法比较方便，但机床结构复杂，制造精度要求高。

电火花镗磨与磨削不同之处是只有工件的旋转运动，电极的往复运动和进给运动，而电极工具没有回转运动。电火花镗磨虽然生产效率低，但比较容易实现，而且加工精度高，表面粗糙度值小，小孔的圆度可达0.003~0.005mm，表面粗糙度小于Ra0.32um，故生产中较多应用。目前已用来加工小孔径的弹簧夹头，可以先淬火，后开缝，再磨孔，特别是镶有硬质合金的小型弹簧夹头和内径1mm以下、圆度在0.01mm以内的钻套，还用来磨削加工粉末冶金用压膜，这类压膜材料多为硬质合金。