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立式6英寸激光干涉仪技术指标

2022/07/1666 作者：佚名
导读：1)测量重复性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2)最大允许误差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。

1)测量重复性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2)最大允许误差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。

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