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薄膜型掩模版应用

2022/07/16219 作者:佚名
导读:顶层胶被曝光、显影并用来将图形做在铬层上。铬是作为硬掩模用在模板光刻胶垂直腐蚀中。铬被做成条状,金被选择性地镀到胶条之间的沟槽中。最后,光刻胶被剥掉,电镀的基底也能被去掉。

顶层胶被曝光、显影并用来将图形做在铬层上。铬是作为硬掩模用在模板光刻胶垂直腐蚀中。铬被做成条状,金被选择性地镀到胶条之间的沟槽中。最后,光刻胶被剥掉,电镀的基底也能被去掉。

*文章为作者独立观点,不代表造价通立场,除来源是“造价通”外。
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