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薄膜导体材料结构

2022/07/16147 作者:佚名
导读:复合薄膜导体的结构一般包括底层和顶层两部分。底层也称为粘附层,主要起粘附作用,使顶层导体膜能牢固地附着在基片上;顶层主要起导电和焊接作用。薄膜的附着性取决于膜层与基片的结合形式。当它们是化学键结合时,附着性就好;当它们是物理吸附时,即由范氏力形成结合时,薄膜的附着性就差。导电性好、可焊性好的金属常是化学稳定性高,不易与基片形成化学结合。所以,为使它能牢固地附着在基片上,则必须通过“打底”,即确:它

复合薄膜导体的结构一般包括底层和顶层两部分。底层也称为粘附层,主要起粘附作用,使顶层导体膜能牢固地附着在基片上;顶层主要起导电和焊接作用。薄膜的附着性取决于膜层与基片的结合形式。当它们是化学键结合时,附着性就好;当它们是物理吸附时,即由范氏力形成结合时,薄膜的附着性就差。导电性好、可焊性好的金属常是化学稳定性高,不易与基片形成化学结合。所以,为使它能牢固地附着在基片上,则必须通过“打底”,即确:它与基片之间加一过渡层(即粘附用的底层)。因此,复合膜中的底层是采用易氧化的金属,以便与基片中的氧形成化学键。顶层则采用导电性好、化学稳定性高的金属。此外,有时还在上述两层间加入中间层,以阻止两层的相互扩散和降低其成本。

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