(1) 对活性气体的抽除
对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。
(2) 对氢气的抽除
对氢气的抽除有化学吸附,也有扩散、吸收、溶解作用。
(3) 对惰性气体的抽除
对惰性气体的排除,主要靠离子“掩埋”,被电离的惰性气体的离子轰击阴极时,有以下三种情况:
a、离子直接打入阴极内,或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内;
b、斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方;
c、离子没有打入板内,但是从阴极得到电子而复合为中性原子,然后又反射到阳极内表面的钛膜中。