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钛泵的电源是高内阻电源，其空载输出电压在3~7KV间，但负载电流大时，输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion（mA）与压强P（Torr）有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。
泵电源的面板上显示有：输出直流高压和钛泵放电电流等。
