2.1 探针台（针座，探针等），1套 1) 手动探针台，宽大的测试空间，能对晶圆、芯片及单器件进行IV/CV及S参数测试 2) 载片台直径：6英寸，平坦度：±5um 3) 载片台整体采用气浮移动方式，快速移动范围：185×235 mm，可单手控制自由移动，包含锁死装置，千分尺精细调节方式，调节范围：25×25mm 4) 载片台快速旋转角度：360°，精细调节范围：±5° 5) 载片台具备两个独立的附加载台，陶瓷吸波材料制作，可用于吸附射频校准片 6) 载片台采用完全独立的真空孔吸附，真空孔直径0.5um；可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关 7) 平台包含三挡抬升方式，包括接触位（0）、分离位（300μm）和装载位（3mm），且有相应阻尼缓冲设计 8) 平台高度可调整范围25mm；平台大小可同时容纳10个直流针座或者4个射频针座。 9) 搭配筒式显微镜，可后仰90度抬头，增大平台可操作空间 10) 显微镜系统的最大放大倍率400倍，可连续变焦 11) 显微镜XY方向移动范围：50 x 50 mm 12) 显示器尺寸：21吋 13) 4套射频针座，精确度±2μm，重复性±2μm。