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建设工程知识

极紫外光刻模板制造工艺中力学参数的择取和优化基本信息

2022/07/16213 作者：佚名
导读：批准号 10702017 项目名称 极紫外光刻模板制造工艺中力学参数的择取和优化 项目类别 青年科学基金项目 申请代码 A0805 项目负责人 郑亮 负责人职称 副教授 依托单位 哈尔滨工业大学 研究期限 2008-01-01 至 2010-12-31 支持经费 21（万元）

批准号

10702017

项目名称

极紫外光刻模板制造工艺中力学参数的择取和优化

项目类别

青年科学基金项目

申请代码

A0805

项目负责人

郑亮

负责人职称

副教授

依托单位

哈尔滨工业大学

研究期限

2008-01-01 至 2010-12-31

支持经费

21（万元）

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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