检测设备及其检测方法，所述检测设备包括：检测组件，用于对待测物、的套刻标记进行检测，套刻标记包括第一标记和第二标记；运动台，用于使检测组件和待测物相对移动；所述检测方法包括：检测组件采集包含第一标记的第一图像；运动采集装置在第一曝光时间内采集运动台的振动值，获取第一抖动值序列；检测组件采集包含第二标记的第二图像；运动采集装置在第二曝光时间内获取第二抖动值序列；根据第一和第二抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值和第二标记的第二抖动值补偿值；根据第一图像、第二图像、第一抖动补偿值和第二抖动补偿值，获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差。采用上述方案可以提高对准误差检测结果的准确性。2100433B
