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建设工程知识

气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置基本信息

2022/07/1699 作者：佚名
导读：申请日 2019.12.06 申请人 中微半导体设备（上海）股份有限公司 地址 201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 发明人 连增迪; 左涛涛; 吴狄 Int. Cl. H01J37/32(2006.01)I 专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人 张静

申请日

2019.12.06

申请人

中微半导体设备（上海）股份有限公司

地址

201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

发明人

连增迪; 左涛涛; 吴狄

Int. Cl.

H01J37/32(2006.01)I

专利代理机构

北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人

张静

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