变压吸附氢提纯装置工艺流程见图2。来自乙苯/苯乙烯和加氢装置的各种尾气经冷却器冷却后进入原料气缓冲罐，除去其中的大部分反烃化料液体，再进入前处理塔，吸附掉气体中夹带的少量液滴和部分C6，然后进入TSA系统，在常温下除去混合原料气中C5以上的组分。之后进入VPSA系统，在6个塔循环操作、交替吸附的作用下生产出粗氢气再进入脱氧塔，若氧含量满足工艺要求，可不经脱氧塔直接进氢气压缩机压缩后送出装置。TSA和VPSA再生时用真空泵抽真空，排出的解吸气经尾气压缩机送入低压瓦斯管网。

氢气提纯装置设计能力为6000到20000Nm3/h，本次标定的原料气量为15200Nm3/h，采用6塔三均方案，由于加氢装置没有向氢提纯装置返加氢尾气，故无加氢尾气量。没有投用脱氧塔的情况下，氧气杂质含量远低于100μg/g的设计要求。装置能耗较小，其中蒸汽占近66%，而这主要是由尾气压缩机（蒸汽透平）所消耗的，蒸汽加热器间歇工作，只占很小一部分。标定期间的氢气回收率为90.47%。（氢回收率=（产品氢气量×纯度）/（原料气量×氢气含量）×100%）