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影响扩散泵性能的主要因素有：
(1)扩散泵油蒸气的返流，解决的方法是在真空系统上加装冷阱，能有效地防止油蒸气的返流。
(2)气体分子的反扩散，通过在高真空机组中增加罗茨泵或双机械泵，增大前级泵的抽速，降低扩散泵出气口的压力，这样不仅可减少气体分子的反扩散，而且还能减少油蒸气的返流。
(3)扩散泵油的裂化分解，采用合格的扩散泵油防止裂化分解。
(4)扩散泵脏化，污染物留在泵内重复循环，应对扩散泵进行清洗，并更换泵油。
