使用注意事项如下：
(1)定期检查泵的性能，更换符合要求的扩散泵油，参见使用说明书。
(2)扩散泵加热前及工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后，必须保证泵油已完全冷却后才能关闭冷却水，具体冷却到什么温度才关闭冷却水，详见说明书。
(3)扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，避免放人大气造成泵油氧化，以延长泵油寿命。
(4)只有达到扩散泵的前级真空度时，才能进行加热，否则会加速泵油的氧化。
(5)被抽的应当是干燥、无腐蚀、无灰尘气体。
(6)如果扩散泵正常工作时真空度突然下降，应首先检查加热器是否断路，再检查是否存在漏点。
(7)新安装的扩散泵达不到极限真空度，应检查密封是否可靠，装配是否正确。
(8)扩散泵工作过程中，应注意前级机械泵的工作情况，因为前级机械泵变坏后，直接影响油扩散泵的正常工作。
(9)要求机械泵的极限压力应比扩散泵前级压力低一个数量级。
