为了提高SAW谐振敏感元件的频率稳定性，需要在电路中加入一定的补偿电路。这样，在很宽的温度范围内，SAW谐振敏感元件就能以高精度在一个给定的频率上振荡。

为了提高稳定性，在制造SAW器件时，必须在工作频率范围内(例如300~400 MHz)进行老化试验，以确定SAW器件老化特性的几种因素的影响。例如，为减小老化的影响，必须采取密封装置、真空烘干和抽真空封装等措施。另外，在安装SAW器件的密封盒中，不应该有会放出气体的物质，也不要在SAW空腔谐振器内喷涂单分子有机物或其他材料，以免影响谐振器长期工作性能或导致频率漂移及稳定性的降低。所有这些措施都将会大大提高SAW谐振敏感元件的频率稳定度。

定量分析谐振器的老化情况是分析研究稳定度的一个主要任务。无论是石英谐振器、体波谐振器还是SAW谐振敏感元件，它们的特性随时间的变化都是很小的。在它们工作一年以后，其频率稳定精度仍可达101或更小。这是因为谐振器是无源装置，一般都是将谐振器作为频率反馈元件而构成谐振器电路。另外，采用集成温度补偿、双通道SAW谐振敏感元件以及先进的高真空封装技术，可使频率和温度稳定度达到很高水平。