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激光干涉仪基本系统技术指标

2022/07/16249 作者：佚名
导读：精度和动态性能 精确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度。读数以50 kHZ频率读取，高线性测量速度可达4 m/s，即使在高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，使您对记录数据的精度有信心。

精度和动态性能 精确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度。读数以50 kHZ频率读取，高线性测量速度可达4 m/s，即使在高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，使您对记录数据的精度有信心。

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