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热解化学气相沉积简介

2022/07/16318 作者：佚名
导读：热化学气相沉积(TCVD)是指利用高温激活化学反应进行气相生长的方法 。

热化学气相沉积(TCVD)是指利用高温激活化学反应进行气相生长的方法 。

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