热解化学气相沉积法合成金刚石薄膜的特点是：
（1）所有组织的金刚石薄膜是由金刚石结构的晶粒组成，晶粒度在0.1~10um之间。
（2）有的金刚石薄膜直接由单晶或孪晶组成，有的薄膜由一定形状的聚晶组成，而聚晶又是由更微细的金刚石微粉组成。
（3）组成薄膜的晶粒大多具有（111）及（100）的习惯面。
（4）在某些生长条件下，薄膜晶粒出现一定程度的择优取向。
（5）在多种薄膜组织中，尖角组织最致密，浮凸组织和栗状组织最疏松。
（6）四方形组织和微晶组织表面最平整，尖角组织和栗状组织最粗糙 。2100433B
