电子束表面改性装置主要包括电子枪、高压油箱、聚焦系统、扫描系统、工作室、真空系统、监控系统等七个部分。

电子枪是一个严格密封的真空器件，其灯丝为发射电子源，灯丝与阳极间施加数万伏的电压，对电子进行加速。在阴阳极之间，还有一个栅控极，栅极与阴极之间加负偏压，其最大值可达1500V,用以控制电子束流的大小。灯丝发射出的电子束流通过电磁聚焦线圈(电磁透镜)，将电子束聚焦成不同尺寸的束斑，进人工作室，轰击工件表面，使其加热。

电子束表面改性设备的工作室有高真空、低真空和常压三种类型。

高真空工作室工作压力保持在1.33x10^-1~1.33x10^-4Pa的范围内，可与电子枪共用一套真空系统，加速电压范围一般在15~175kV,电子束在工作室的最大传输距离高达1000mm,调节范围宽，电子散射小，功率密度高，可用大束斑对工件进行处理(可达20mmx20mm);低真空工作室工作压力为13.3~1.33Pa,灯丝发射的电子束聚焦后通过特殊设计的气阻喷管进人低真空室，其加速电压范围为40~150kV,最大传输距离<700mm,电子束有一定散射，束斑尺寸相对减小，这是电子束表面改性设备用得较多的系统;常压工作室处于非真空状态，电子束通过一组存在压差的喷管引人大气中，其加速电压150~175kV,电子东散射严重，到工件的最大距离不超高25mm,但这种工作室结构简单、操作方便。2100433B