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建设工程知识

真空回流炉气路系统

2022/07/1696 作者：佚名
导读：N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路，通到腔体内。H2/N2一路，通道腔体内。

N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路，通到腔体内。H2/N2一路，通道腔体内。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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