电子从阴极发射，进入液体以后，在足够高的场强下，一些电子能够从电场中得到比它们与液体分子或原子非弹性碰撞损失的更多的能量，这些电子一直被加速到具有足够的能量去电离液体分子或原子。同时空间正离子增强了阴极表面的电场强度促进电子的发射，电子累积形成电子崩，最终导致液体击穿。
首先是阴极电子发射，阴极表面电子发射的方式是多种的：热发射、光电发射、场致发射及二次发射等。从电子初始发射的角度来看，场致发射与热发射应该是主要的。
其次是电子增长产生电子崩。电子从外电场得到的能量等于激励液体分子、原子消散的能量，电子如果从外电场得到的能量大于与液体分子或原子非弹撞损失的能量， 则能够导致电子崩的产生。另外，在击穿发生前的瞬间，预击穿电流发射大量的光，光子为液体分子的电离提供能量，促进电子崩的发生。而二次电子发射可能引发电子崩，电子崩尾的正电荷也加强了低密度区的电场。所以，上述过程构成正反馈。
（小桥放电）
工程用液体电介质总是或多或少地含有一些杂质，例如油中常因受潮而含有水分。此外还含有油纸或布脱落的纤维，由于水和纤维的介电常数很大，使它们容易极化而沿电场方向定向排列。如果定向排列的纤维贯穿于电极间形成连续小桥，则由于水分及纤维等的电导大而引起泄漏电流增大，发热增多，促使水分汽化，气泡扩大。如果纤维尚未贯穿整个电极间隙，则由于纤维的介电常数大而使纤维端部油中场强显著增高，高场强下油电离分解出气体形成气泡，气泡电离并因发热而扩大。电离的气泡排成气体“小桥”，工程用液体电介质的击穿最后发生在气体通道中。
另外，液体中杂质的存在加强了液体中电场分布的不均匀性，杂质在电场中被极化，在接近电极的时候，可能增强电极表面的电场强度，引发液体的局部放电，导致击穿的进一步发生。
