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建设工程知识

硅片表面平整度测量仪技术指标

2022/07/16118 作者：佚名
导读：厚度范围400-990μm精确度≤±0.5μmRES低阻测量范围是0.001～0.999Ω·cm；高阻测量范围是0.2～199.9Ω·cm精确度≤±2%平整度精确度≤±0.15μm型号准确无误。

厚度范围400-990μm精确度≤±0.5μmRES低阻测量范围是0.001～0.999Ω·cm；高阻测量范围是0.2～199.9Ω·cm精确度≤±2%平整度精确度≤±0.15μm型号准确无误。

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