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硅片表面平整度测量仪主要功能

2022/07/1675 作者：佚名
导读：测量硅片表面几何参数，以及电阻率型号等厚度可测中心点，可测全表面2000余点，出最大最小值平整度测量两种测量方式，局部平整度测量4种方式，电阻率测量范围为中心至边缘（尺寸不同，距离边缘距离有差别）。 2100433B

测量硅片表面几何参数，以及电阻率型号等厚度可测中心点，可测全表面2000余点，出最大最小值平整度测量两种测量方式，局部平整度测量4种方式，电阻率测量范围为中心至边缘（尺寸不同，距离边缘距离有差别）。 2100433B

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