离子束系统：离子源种类：液态Ga离子源；交叉点分辨率：≤ 4.0nm @ 30kV (采用Multi-edge平均值法测量)；加速电压：0.5kV - 30 kV；束流强度：1.1pA - 65nA (15孔光阑条)；束流密度：最大值可达60A/cm2；离子源寿命：不低于1000小时。电子束技术要求：电子枪类型：肖特基(ZrO/W)场发射灯丝；分辨率：在最佳工作距离：≤ 0.9nm @ 15kV；≤ 1.4nm @ 1kV；在束交叉点分辨率：≤ 1.0nm @ 15kV；≤ 2.5nm @ 1kV；在束交叉点和大倾转角时，能有优异的图像质量(样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像)；束交叉点工作距离：4－5mm；加速电压：350V－30KV (连续可调)；电子束减速模式：-4kV 至 -50V (着落电压：50V – 30kV)；束流强度：最大束流22nA；电子枪寿命：保证使用1年；可用探头：二次电子探测器、高分辨背散射电子探测器。