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红外光谱技术与显 微技术相结合而产生的一种微量分析技术。即在通过显微镜 观察被测样品的外观形态或物理微观结构的基础上直接测试 样品某特定部位的化学结构，得到该微区物质的高质量的红 外谱图，谱图尺寸与红外或可见光波长在同一数量级上。有 不损伤试样和非接触式直接测量等特点，而且扫描速度快，采 样量小，是一种非破坏性的过程分析方法，在晶体表面研究、 无定形半泞体和微晶质半导体研究等领域都有广泛应用。 2100433B
