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蒸发沉积系统技术指标

2022/07/16129 作者:佚名
导读:腔室本底真空优于5x10-8torr;4 个7cc的蒸发坩埚;2个热蒸发电极。

腔室本底真空优于5x10-8torr;4 个7cc的蒸发坩埚;2个热蒸发电极。

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