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薄膜太阳能电池成膜系统技术指标

2022/07/1662 作者：佚名
导读：极限真空6.5E-5Pa；漏率12小时≤20Pa；加热500℃；负向偏压200V；计算机控制正常。

极限真空6.5E-5Pa；漏率12小时≤20Pa；加热500℃；负向偏压200V；计算机控制正常。

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