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薄膜表征系统技术指标

2022/07/16156 作者:佚名
导读:光谱分辨率:1nm或2nm (可选);光源:150W 氙弧灯;样品尺寸:10×10mm到200×250mm;层数:至多5层,两个未知参数;薄膜厚度范围:1nm到25um,取决于角度、偏振和波长。

光谱分辨率:1nm或2nm (可选);光源:150W 氙弧灯;样品尺寸:10×10mm到200×250mm;层数:至多5层,两个未知参数;薄膜厚度范围:1nm到25um,取决于角度、偏振和波长。

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