西安工业大学光电工程学院省重点实验室薄膜与等离子体技术方向

*可见、红外高效高强宽带减反膜；

*高反膜器件制造技术；

*高性能窄带滤波；

*分光分色器件制造技术；

*抗激光薄膜的制造技术；

*宽束冷阴极离子源 、脉冲真空电弧离子源系列化；

*类金刚石薄膜的制造与应用技术；

*超硬薄膜制造技术；

*高精度薄膜厚度实时控制技术；

*(非)平衡磁控溅射技术与设备；

*脉冲真空等离子体镀膜技术与设备；

*离子束溅射技术与设备。

西安工业大学光电工程学院省重点实验室光学制造与检测技术研究方向

*球面、非球面光学表面数控铣磨技术；

*超光滑光学表面磁流体抛光技术；

*超光滑表面等离子体抛光技术；

*球面、非球面光学表面柔性抛光技术与设备；

*非球面与复杂表面光学元件测试技术与设备；

*薄膜参数的精密测试技术与设备。

西安工业大学光电工程学院省重点实验室微光电器件制造技术及应用方向

*常温热成像材料与器件制造、检测、应用技术；

*低损耗薄膜散射测试仪；

*多功能传感器集成制造技术；

*纳米材料与器件；

*低维聚合物制备与改性；

*常温热成像探测器件。 2100433B